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“光刻膠+光刻機(jī)”的王炸組合，在A股市場(chǎng)曾有呼風(fēng)喚雨的魔力，國產(chǎn)光刻膠公司憑一紙“購得光刻機(jī)”公告便錄得“20厘米”漲停的刺激還歷歷在目，但時(shí)間僅過去了一年，相同的配方，威力卻已不再——

近日，晶瑞電材在與投資者互動(dòng)時(shí)表示，近期已購得KrF光刻機(jī)一臺(tái)，可用于KrF光刻膠的曝光測(cè)試。消息披露當(dāng)日，該公司股價(jià)漲超7%，但在隨后幾日連續(xù)陰跌。市場(chǎng)反應(yīng)的先揚(yáng)后抑，與一年前大相徑庭。

事實(shí)上，在今年8月爆出“你算老幾門”之前，光刻膠概念也仍然是A股“最靚的仔”之一。到如今的局面反轉(zhuǎn)，8月這波冷水的功勞功不可沒，逐漸有更多人意識(shí)到，光刻膠國產(chǎn)替代，光刻機(jī)真不是那個(gè)坎。

買光刻機(jī)≠光刻膠量產(chǎn)在即 漫長驗(yàn)證周期仍需等待

光刻機(jī)在光刻膠的研發(fā)、產(chǎn)品驗(yàn)證以及后續(xù)的大規(guī)模量產(chǎn)過程中，是必不可少的檢驗(yàn)檢測(cè)設(shè)備之一。據(jù)愛集微從某半導(dǎo)體業(yè)內(nèi)資深人士處了解到，為了盡量排除產(chǎn)線上的不確定因素，一般光刻膠廠商會(huì)選擇代工廠主流型號(hào)。

雖然晶瑞電材并未透露此次購買的光刻機(jī)型號(hào)，但據(jù)上述業(yè)內(nèi)人士了解，該設(shè)備是從格芯的新加坡工廠購得，“算是熱機(jī)，拉回去通電就能用。”目前國內(nèi)包括北京科華、南大光電、上海新陽等廠商，購買的均為ASML二手設(shè)備。

至于為何是二手設(shè)備，原因與多數(shù)人想象的“卡脖子”無關(guān)，而在于價(jià)格，根據(jù)公司公告，南大光電2020年4月購得的ASML 193nm二手浸沒式光刻機(jī)造價(jià)高達(dá)1.4億元人民幣，上海新陽今年3月購得的ASML-1400二手光刻機(jī)也超過上億元人民幣。

型號(hào)要與代工廠產(chǎn)線適配、價(jià)格要選擇性價(jià)比相對(duì)更高的二手設(shè)備，這些所謂的“難點(diǎn)”讓一種不夠理性的觀點(diǎn)，一度占據(jù)上風(fēng)：即光刻膠廠商成功購得光刻機(jī)，就意味著其跨過了產(chǎn)品量產(chǎn)的最大門檻，正式向代工廠供貨便指日可待。

然而事實(shí)卻遠(yuǎn)非如此。從本質(zhì)上來看，即使光刻機(jī)對(duì)光刻膠生產(chǎn)流程來說必不可少，但畢竟僅用于光刻性能的檢測(cè)，購買光刻機(jī)這一舉動(dòng)本身，僅能證明公司確實(shí)在做相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)等一系列工作，但“做不做的出來不知道”。

“購得光刻機(jī)”和“光刻膠量產(chǎn)供貨”之間的鴻溝，從光刻膠廠商的動(dòng)態(tài)中也可窺知一二：

例如晶瑞電材“一臺(tái)光刻機(jī)一個(gè)漲停板”的神話——自年初購得ASML XT 1900 Gi型光刻機(jī)設(shè)備用于研發(fā)28nm ArF濕法光刻膠至今，該項(xiàng)目披露的進(jìn)展仍然是“啟動(dòng)”；

例如首個(gè)實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)ArF光刻膠突破的南大光電，則早在2020年4月即購得ASML 193nm二手浸沒式光刻機(jī)用于研發(fā)193nm ArF濕法光刻膠，但至今尚未量產(chǎn)。公司最新表示，目前仍在進(jìn)行客戶認(rèn)證，至于具體量產(chǎn)時(shí)日還需根據(jù)客戶訂單決定。

需要明確的是，這并不是說國產(chǎn)光刻膠國產(chǎn)替代遭遇困境，因?yàn)樽鳛榘雽?dǎo)體制造最關(guān)鍵材料之一，光刻膠從驗(yàn)證到量產(chǎn)周期相當(dāng)漫長，驗(yàn)證過程一般1-3年才能批量供貨，并且取得驗(yàn)證后，還需要進(jìn)行參數(shù)和工藝反復(fù)修改才可獲取客戶批量訂單。

筆者想要闡明的是，無論是資本市場(chǎng)亦或是行業(yè)內(nèi)外人士，對(duì)于光刻膠國產(chǎn)化，或許仍需要更多的耐心和更漫長的等待。“一臺(tái)光刻機(jī)一個(gè)漲停”的時(shí)代結(jié)束，或許正是理智回歸后，更多人以理性視角看待光刻膠國產(chǎn)化的印證。

然而，新的問題又來了——如果不是設(shè)備，國產(chǎn)光刻膠的坎究竟是什么？

光刻膠兩大坎——原材料、資金投入

最大的坎在于原材料，這也是光刻膠真正具有“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)的環(huán)節(jié)。在微米級(jí)甚至納米級(jí)圖形加工中，對(duì)光刻膠產(chǎn)品的基本要求為具備高分辨率、高感光度、精確對(duì)準(zhǔn)、低缺陷密度，這些要求背后，是對(duì)光刻膠配方和原材料近乎苛刻的選擇。

集微咨詢（JW insights）認(rèn)為，發(fā)力半導(dǎo)體光刻膠，需要考慮整個(gè)材料供應(yīng)鏈的一個(gè)安全問題，或是考慮規(guī)避風(fēng)險(xiǎn)，不然核心原材料都在國外，做光刻膠實(shí)際就是一個(gè)“空中樓閣”，萬一關(guān)鍵的原材料卡掉斷供的話，光刻膠是否是國產(chǎn)實(shí)際也沒有什么太大區(qū)別。

據(jù)華創(chuàng)證券整理，光刻膠主要是由光刻膠樹脂（聚合物）、增感劑（包括光引發(fā)劑、光增感劑和光致產(chǎn)酸劑）、溶劑、單體（活性稀釋劑）和其他助劑組成，用量占比分別為10-40%、 1-6%、50-90%，單體和其他助劑用量小于1%。

其中，樹脂是光刻膠的基本骨架，南大光電副總經(jīng)理毛智彪博士曾表示，原材料中最難做的材料就是成膜樹脂，決定了光刻膠產(chǎn)品的光刻性能和刻蝕性能。而樹脂是高分子材料，需要對(duì)納米級(jí)材料的控制，對(duì)微觀領(lǐng)域有深刻的理解才能做到光刻膠的材料。

增感劑則作用于化學(xué)反應(yīng)過程中，對(duì)產(chǎn)品的感光度，分辨率等起決定作用，樹脂與增感劑合計(jì)占超過光刻膠50%的成本，但前者由日本壟斷，后者由德國壟斷，國內(nèi)目前礙于核心技術(shù)匱乏，國產(chǎn)化率僅為0-10%，瓶頸明顯。

在光刻膠進(jìn)入國產(chǎn)替代周期的背景下，包括上述公司在內(nèi)的產(chǎn)業(yè)鏈公司，實(shí)際上也已同步開始了原材料的布局。集微咨詢調(diào)研發(fā)現(xiàn)，國產(chǎn)光刻膠正逐步形成了一個(gè)原材料配套產(chǎn)業(yè)鏈，圍繞樹脂、單體、光引發(fā)劑等原材料，核心玩家有了很清晰的材料配套目標(biāo)。

不過，這些布局距離見效或許還將有些時(shí)日。除了核心技術(shù)壁壘之外，最大的難點(diǎn)在于，由于應(yīng)用環(huán)境多樣，光刻膠產(chǎn)品往往難以標(biāo)準(zhǔn)化，甚至需要針對(duì)代工廠特別定制，這不僅給光刻膠廠商帶來挑戰(zhàn)，也需要有更多的原材料品種能夠適配。

第二個(gè)坎在于資金。正如前文所述，光刻膠廠商即使是向代工廠購置的二手主流設(shè)備，造價(jià)也普遍接近或超過上億元。原材料成本也不遑多讓，例如丙二醇甲醚醋酸酯，頭部廠商巴斯夫在國內(nèi)具有高定價(jià)權(quán)，其在2020年均價(jià)達(dá)到近1萬元/噸。

高成本投入后，國內(nèi)廠商面對(duì)的依然是一個(gè)不算太大、且?guī)缀跻驯痪揞^瓜分完畢的市場(chǎng)。數(shù)據(jù)顯示，目前占據(jù)光刻膠最大份額的ArF和KrF市場(chǎng)，前者由日本JSR、信越化學(xué)、東京應(yīng)化、住友化學(xué)占據(jù)82%，后者由東京應(yīng)化、信越化學(xué)、JSR和杜邦占據(jù)85%。

再加上反復(fù)提到的驗(yàn)證周期漫長，這些特質(zhì)都使得光刻膠成為投入回報(bào)率低且短期經(jīng)濟(jì)效應(yīng)不顯著的產(chǎn)業(yè)，這對(duì)于被推至風(fēng)口的光刻膠廠商來說，更是在諸如技術(shù)、資金等客觀因素之外，對(duì)其重壓下決策能力的重大考驗(yàn)。

寫在最后

可以肯定的是，國產(chǎn)光刻膠目前所面對(duì)的瓶頸，絕非是“一臺(tái)光刻機(jī)”能夠解決的。正如毛智彪博士所說，國產(chǎn)光刻膠需要建立起從原材料到光刻膠產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)鏈，并且持續(xù)投入對(duì)原材料的研發(fā)，才能支撐起長久健康的發(fā)展。

就目前來看，國產(chǎn)替代的進(jìn)程已不可謂不迅速，隨著晶圓廠對(duì)國產(chǎn)光刻膠態(tài)度的積極轉(zhuǎn)變，國內(nèi)諸如北京科華、晶瑞電材、南大光電光刻膠產(chǎn)品都已經(jīng)或供貨在即，強(qiáng)力新材、圣泉集團(tuán)、彤程新材、徐州博康等原材料廠商正逐漸崛起。

但，仍需耐心和時(shí)間。韓國的失敗案例正在眼前反復(fù)提醒，即使是擁有三星、SK海力士等巨無霸IDM的韓國，仍在光刻膠自主化上難以短時(shí)見效，中國廠商所面臨的壓力可想而知。“買光刻機(jī)即漲停”的終結(jié)，某種意義上來說，或許正是光刻膠理性時(shí)代的開始。（Yuki）

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