豐田合成成功研制6英寸氮化鎵襯底
據外媒報道,在日本環境省牽頭的一個科研項目中,豐田合成與大阪大學合作制備出 6 英寸高質量 GaN (氮化鎵)襯底。
據稱,豐田合成依托其過往研究經驗,開發出一種鈉與鎵在液態狀態下生長氮化鎵單晶的方法。
上述機構接下來將對 6 英寸襯底的批量生產進行評估,并將嘗試進一步增加晶圓尺寸。(樂川)
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