“有研”是山東德州在中國“芯版圖”上的一個重要“標簽”。2022年，山東有研艾斯半導體材料有限公司集成電路用大硅片產業化項目、有研億金新材料（山東）有限公司集成電路用高純濺射靶材生產項目同時上榜德州市級以上重點項目。

這已是山東有研艾斯半導體材料有限公司集成電路用大硅片產業化項目連續兩年（2021年與2022年）進入山東德州市級重點建設項目名單。該項目還于2021年進入山東省級重點建設項目名單，但今年未出現在山東省2022年省重點項目名單中。而有研億金新材料（山東）有限公司集成電路用高純濺射靶材生產項目進入了山東省2022年省重點項目名單。

此外，通過有研德州兩大項目——集成電路用大硅片產業化項目及集成電路用高純濺射靶材生產項目的近期招標情況來看，建設“苗頭”已現。

高純濺射靶材生產項目

2021年9月13日，有研新材發布公告稱，公司擬投資建設有研億金新材料有限公司靶材擴產項目，總投資3.28億元。公告顯示，該項目包括山東德州新建生產基地和昌平基地升級改造兩部分，德州基地新建項目主要包括廠房、綜合辦公樓等建（構）筑物的建設、裝修，設備購置與安裝調試等，昌平基地提升項目主要是現有廠房、設備的升級優化。項目建成后產能達到73,000塊/年。

造價咨詢服務招標公告顯示：隨著半導體行業景氣度逐步上升，全球晶圓加工需求保持穩定增長，大陸晶圓廠建設及投產進度明顯高于全球水平，正帶動國內半導體靶材市場較快增長。半導體靶材市場正逐漸向中國大陸轉移，國內靶材企業面臨良好市場機遇。為進一步擴大靶材產能和提升市場占有率，將技術優勢向產業優勢轉化，做強做大靶材產業，持續保持領先地位，有研億金新材料（山東）有限公司實施產品結構和區域布局上的“雙優化”，在德州新建集成電路用高純濺射靶材研發生產基地。

大硅片產業化項目

2019年12月18日，有研集團與德州市政府、株式會社RS Technologies、德州匯達在德州共同簽署12英寸集成電路用大硅片產業化項目投資合作協議書。有研集團當時消息顯示，該項目預計投資額62億元，建設目標為年產360萬片12英寸硅片。項目將建成為我國北方地區最大的集成電路用大硅片生產基地。

據了解，山東有研集成電路用大尺寸硅材料規模化生產項目于2018年7月簽約落地山東德州，2019年3月份舉行開工儀式，項目總投資80億元，分兩期建設。其中一期18億元，二期62億元。一期已于2020年10月16日量產。二期建設目標為年產360萬片12英寸硅片。

天眼查顯示，山東有研艾斯半導體材料有限公司成立于2020年3月11日，股東包括德州匯達半導體股權投資基金合伙企業（德州政府出資）、有研半導體硅材料股份公司（股東包括株式會社RS Technologies）、有研科技集團有限公司。

山東有研艾斯2021年4月官方消息顯示，山東有研艾斯半導體材料有限公司是專注于12英寸硅片研發和產業化的企業，承擔建設的“12英寸集成電路用大硅片產業化項目”通過了國家發改委和工信部窗口指導工作，是國內為數不多的列入國家集成電路產業規劃布局的12英寸硅片項目，同時也是山東省重點投資項目。

2021年4月，山東新聞聯播顯示，德州有研半導體深化與日本RST株式會社合作開展12英寸半導體級硅片項目。在德州經開區，得益于與日本RST株式會社的合作，有研集成電路用大尺寸硅材料規模化生產項目進展順利。當地政府拿出真金白銀，兌現各級獎勵資金超過2億元。日本項目方投資800多萬美元，將開展二期12英寸半導體級硅片項目。山東有研艾斯半導體材料有限公司CTO古頭泰則表示，這里營商環境非常好，今年引進生產及檢測相關的設備，明年確立量產工藝，為量產打下基礎。

此外，山東省新動能基金管理有限公司消息顯示，有研12英寸集成電路用大硅片產業化項目定位于28nm及以下線寬的技術水平。

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