消息 半導體光刻膠是光刻過程的關鍵耗材，光刻膠的質量和性能對光刻工藝有著重要影響，因其技術壁壘高而長期被海外大廠所主導，是半導體國產化的一道大坎。目前全球光刻膠主要企業有日本合成橡膠（JSR）、東京應化（TOK）、住友化學、信越化學、陶氏化學等，占市場份額超過85%。

近日，通過多方信源獲悉，由于日本信越化學KrF光刻膠產能不足等原因導致中國大陸多家晶圓廠KrF光刻膠供應緊張，部分中小晶圓廠KrF光刻膠甚至出現了斷供，多家晶圓廠正在加速驗證導入本土KrF光刻膠。

而信越化學之所以停止供貨部分晶圓廠KrF光刻膠，與數月前日本福島東部海域發生7.3級地震有莫大關聯。據行業人士透露，由于地震原因，信越化學KrF光刻膠產線受到很大程度的破壞，至今尚未完全恢復生產，在產線受到影響和晶圓廠擴產等多方因素下，信越化學不得不停止向中國大陸幾家晶圓廠供應KrF光刻膠。雖然東京應化填補了信越化學海外大部分缺失的KrF光刻膠產能，但目前仍存在不小的缺口，中國大陸多家晶圓廠正在加速驗證導入本土廠商彤程新材子公司北京科華的KrF光刻膠。

國內多家晶圓廠KrF光刻膠供應緊張

早在今年2月中旬，就發布過“受地震影響信越化學光刻膠工廠停產”的報道，在當時福島地震發生后，信越化學KrF光刻膠生產以及海外供貨就受阻，當時下游代理商考慮配合運輸與相關成本提高，調漲新合約報價。

只是出乎預料的是，信越化學受影響的KrF光刻膠產線至今尚未完全恢復生產，這一定程度上或與光刻膠產線受到污染有關。而在信越化學KrF光刻膠產線短期難以恢復的狀況下，FAB廠客戶都面臨較大的缺貨危機，要知道信越化學占據全球光刻膠市場份額超兩成，其主要供應的KrF光刻膠占據不小的市場份額。

據行業人士透露，在信越化學KrF光刻膠產能出現供應短缺之后，部分海外客戶產能需求由東京應化（TOK）填補了，但在中國大陸的晶圓廠客戶仍面臨不小的供應短缺問題。

行業周知，全球半導體光刻膠被日本JSR、TOK、住友化學、信越化學，以及美國陶氏化學所主導。JSR是現在全球最大的，技術是最領先的光刻膠龍頭，Intel、三星和臺積電都是JSR核心客戶，I-line、KrF、ArF、EUV光刻膠產品全覆蓋。TOK專注于做光刻膠及配套試劑，在G線、I線，KrF和ArF都有些市場份額。陶氏的光刻膠事業部已經并入杜邦，客戶是Intel、IBM體系，但在大陸市場占有率不是很高。信越化學主要切入點就是從KrF和ArF開始，EUV光刻膠也在開發，在中國大陸有不少FAB廠客戶。

上述行業人士還表示，由于KrF光刻膠產能受限以及全球晶圓廠積極擴產等原因，信越化學已經向中國大陸多家一線晶圓廠限制供貨KrF光刻膠，且已通知更小規模晶圓廠停止供貨KrF光刻膠，國內多家晶圓廠將會面臨KrF光刻膠大缺貨的處境。

北京科華加速驗證導入

事實上，國內晶圓廠面臨KrF光刻膠大缺貨，除了信越化學KrF光刻膠產線供應出問題外，更大的原因在于，在日本福島地震之前，KrF光刻膠的產能供應就較為緊張。據央視財經報道，今年年初以來半導體光刻膠供應極為短缺，以往企業每次采購的光刻膠量約在100kg，近期由于原材料短缺，每期只能采購到10kg-20kg，價格方面也隨之水漲船高。其中，光刻膠關鍵材料稀釋劑從4月份價格提高50%，這也進一步傳導至光刻膠價格上漲。

再加之，由于全球晶圓代工產能不足，產能擴充一直在進行中，光刻膠市場需求也在保持穩定增長，但實際產能開出并沒有與晶圓廠形成匹配。

今年以來，除了臺積電、三星、英特爾、聯電等晶圓廠積極擴產外，中芯國際、華虹宏力、廣州粵芯等多家本土晶圓廠積極擴產和產能釋放，這也就導致國內光刻膠需求量遠大于本土產量，且差額逐年擴大，尤其是在高端KrF、ArF等半導體光刻膠。

然而，截至目前，國內能夠批量供應KrF、ArF光刻膠的廠商卻為數不多。根據SEMI數據，日本幾大廠商在g線/i線、KrF、ArF膠市場中市占率分別為61%、80%、93%，而國內g線/i線自給率約為20%，KrF光刻膠的自給率不足5%，12寸硅片的ArF光刻膠目前尚無國內企業可以大規模生產。

其中，在國產半導體光刻膠廠商中，彤程新材控股子公司北京科華、晶瑞股份都已經量產g線/i線光刻膠，上海新陽投建的干法ArF光刻膠尚無實質進展，南大光電的ArF光刻膠已通過某一客戶認證，晶瑞股份KrF光刻膠已經完成中試，正進入客戶測試階段，而彤程新材（北京科華）KrF光刻膠項目早已通過“國家02”驗收，并從在去年就已經開始大量導入國內多家晶圓廠。

資料顯示，北京科華成立于2004年，產品覆蓋KrF (248nm)、l-line、G-line、紫外寬譜的光刻膠及配套試劑，是中芯國際、華潤上華、杭州士蘭、吉林華微電子、三安光電等行業頂尖客戶的穩定合作伙伴。2020年，彤程新材多次受讓北京科華股東所持有的股權后，并于今年2月25日實現對北京科華的控股和并表。隨后彤程新材積極推進 “一體兩翼”發展戰略，加快電子化學品業務布局，并通過彤程電子投資5.7億元在上海化學工業區建設1.1萬噸面板和半導體高端光刻膠項目。

上述行業人士表示，彤程新材作為目前國內唯一一家能夠供應KrF光刻膠的廠商，在信越化學發出停供通知后，國內多家晶圓廠正在加速驗證彤程新材（北京科華）KrF光刻膠。目前，北京科華的KrF光刻膠正在快速起量導入客戶，隨著公司明年KrF光刻膠產能逐漸釋放出來，將會加速覆蓋國內多家FAB廠8+12英寸產線。（Arden）

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